일반기술
박막제조방법
- 개요 본 기술은 박막제조방법을 제공하기 위한 것임.- 특징 진공챔버 내에 1가지 이상의 시료를 로딩하는 단계, 시료들에 열을 가하여 승화 또는 기화시키는 단계, 승화 또는 기화된 시료에 빛을 쪼여 상기 기판에 시료의 증착량을 조절하여 증착되는 시료의 정보를 검출하는 단계, 정보에 의하여 기판에 증착되는 시료의 조건을 제어하여 기판에 박막의 조성비를 조절하고 형성하는 단계로 이루어짐.- 효과 원하는 조성과 두께를 가진 박막층을 얻을 수 있음.
기술정보
- 기술분류
- 전기·전자 > 기타 전기/전자
- 보유기관
- 한국산업기술진흥원
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2008-01-09
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
관련 특허
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