일반기술
전계방출 이미터 제조방법
본 기술은 다이아몬드상 카본 재질을 이용하여 저전압하에서도 높은 방출전류밀도를 얻을 수 있는 전계방출 이미터 및 그의 제조방법에 관한 것이다.- 특징저전압에 의해서도 높은 전자방출특성을 지닌 평면형 다이아몬드상 카본 박막 이미터를 형성하는 것이 가능함으로써, 저전압으로 구동이 가능한 대면적의 FED를 구현할 수 있다. 제조방법이 일반화된 식각공정과 박막형성공정이 대부분이므로 제조공정을 단순화할 수 있을 뿐만 아니라 제조비용을 저감할 수 있다.
기술정보
- 기술분류
- 전기·전자 > 기타 전기/전자
- 보유기관
- 한국산업기술진흥원
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2008-01-09
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
관련 특허
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