일반기술

기판 코팅장치의 노즐 구조 및 그 제어방법

기술의 개요 - 본 기술은 기판 코팅장치의 노즐구조 및 그 제어방법에 관한 것이다.기술의 특징 - 노즐의 내부 일측에 로터를 설치하고, 이 로터의 회전방향 및 속도를 조절하여 노즐을 통해 토출되는 코팅액의 양을 제어하여, 코팅되는 막의 두께 및 균일도를 향상시킬 수 있는 기판 코팅장치의 노즐구조 및 그 제어방법으로, 한쪽 끝부분이 뾰족한 두 편의 블록으로 이루어지고, 두 블록 사이에 수직방향의 좁은 유로가 형성되고 유로의 일측에 홈이 형성된 노즐과, 홈에 설치되어 모터의 구동에 의하여 회전되는 로터, 이 로터를 제어하는 콘트롤러로 구성된다.기술의 효과 - 본 기술로 사용할 수 있는 액체의 선택의 폭이 넓어지고, 코팅되는 막의 두께를 다양하게 제어할 수 있으며, 코팅하는 과정에서 상기 로터의 회전상태를 제어함으로써, 기판의 가장자리에서 막이 두꺼워지는 현상을 제거하여 균일한 막을 얻을 수 있다. - 또한, 기판의 이동속도에 제한이 없어 생산성을 향상시키는 효과가 있다.