일반기술

박막형 이산화탄소 가스 센서

기술의 개요 - 본 기술은 박막형 가스 센서 및 그의 제조방법에 관한 것이다.기술의 특징 - 복수개의 리드들이 끼워져, 하면과 상면에 복수개의 리드들이 각각 돌출되어 있는 케이스와 실리콘 기판상에 멤브레인막이 형성되어 있고, 멤브레인막 상부에 패터닝된 저항체 박막이 형성되어 있고, 저항체 박막의 패턴 일부를 감싸는 세라믹 담체 박막이 형성되어 있고, 저항체 박막과 전기적으로 연결되는 금속패드들이 형성되어 있고, 실리콘 기판의 일부가 제거되어 세라믹 담체 박막이 형성된 영역 하부에 있는 멤브레인막이 부상되어 각각 별개로 구성되어 있다. - 또한 케이스의 상면에 각각 이격되어 부착되며, 복수개의 리드들과 전기적으로 본딩된 감지 소자 및 보상 소자, 감지 소자 및 보상 소자를 각각 분리시키며 케이스의 상면에 접착되어 밀봉되고, 감지 소자에 외부의 공기가 접촉될 수 있는 유통로를 가지며, 보상 소자를 외부 공기와 차단시키는 캡으로 구성된다. 기술의 효과 - 본 기술은 실리콘 마이크로머시닝 기술을 이용하여 멤브레인상에 저항체 박막과 담체를 형성함으로써, 소자의 열용량을 작게하여 사용 전력을 낮추고, 저항체의 저항변화를 크게 할 수 있어 센서의 감도를 높일 수 있으며 응답속도를 빠르게 향상시킬 수 있는 효과가 있다. - 더불어, 실리콘 공정을 이용하여 센서의 크기를 작게 할 수 있으며 조립공정이 간단하여 소자를 대량생산할 수 있는 효과가 있다.