일반기술
질화갈륨 기판 제조방법
기술의 개요 - 본 기술은 질화갈륨 기판 제조방법에 관한 것이다.기술의 특징 - 사파이어 기판의 측면에 보호부를 형성하여, 질화갈륨을 성장시키는 것을 특징으로 한다.기술의 효과 - 본 기술로 사파이어 기판의 가장자리(EDGE)에 질화갈륨 후막이 불균일하게 성장되는 것을 방지할 수 있고 질화갈륨 후막과 사파이어 기판의 분리를 원활히 수행할 수 있으며, 고품질의 질화갈륨 기판을 제조할 수 있는 효과가 발생한다.
기술정보
- 기술분류
- 전기·전자 > 기타 전기/전자
- 보유기관
- 한국산업기술진흥원
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2008-01-09
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
관련 특허
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