일반기술
진공 흡착 장치
본 기술은 액정 유리 기판 등의 파지(把持)수단인 진공 흡착 장치에 관한 것으로서, 흡착 테이블 주변에서 흡입된 액체를 능동적으로 모아서 배출시킬 수 있고, 액체를 사용하는 공정시에도 효과적으로 작동할 수 있다.- 특징진공 라인을 통해 흡입되는 액체를 모아서 외부로 배출시킬 수 있도록 구성함으로써 액체가 존재하는 환경에서도 건조한 환경에서와 동일하게 흡착 대상물을 원활하게 흡착할 수 있다.
기술정보
- 기술분류
- 전기·전자 > 기타 전기/전자
- 보유기관
- 한국산업기술진흥원
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2008-01-09
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
관련 특허
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