일반기술

탄소나노튜브 길이별 제조방법

- 개요 본 기술은 탄소나노튜브 길이별 제조방법을 제공하기 위한 것임.- 특징 기판 상에 촉매물질을 증착하는 단계, 촉매물질이 형성된 기판에 감광막을 도포하고 소정 패턴을 갖는 마스크를 이용하여 도포된 감광막을 선택적으로 노광하며 감광막을 선택적으로 제거하여 감광막 패턴을 형성하고, 감광막의 선택적 제거에 의해 노출되는 부분에 형성된 촉매물질을 제거하여 일정 거리를 갖고 나란한 촉매패턴쌍을 형성하는 단계, 서로 나란한 촉매패턴쌍의 대향면의 각각의 배면에 성장방지막을 증착하는 단계, 서로 나란한 촉매패턴쌍의 대향면에 촉매패턴쌍을 연결하여 미리 서로 나란한 촉매패턴쌍의 대향면을 수소로 표면처리 하므로 탄소나노튜브를 형성하는 단계를 포함하여 구성되며, 사진식각공정을 이용하여 미리 원하는 길이의 간격을 갖는 촉매패턴쌍을 배치하고, 그 촉매패턴쌍의 대향면 사이에서 수평방향으로 같은 길이의 탄소나노튜브를 합성함.- 효과 정확히 원하는 길이의 탄소나노튜브를 다량으로 획득이 가능. 탄소나노튜브를 준비하여 나노 구조물의 재료로 활용 가능.