일반기술
초전도 조셉슨 접합 소자 제조 방법
- 개요 본 기술은 초전도체에 관한 것으로, 특히 얇은 계면을 형성하는 초전도 조셉슨 접합 소자 제조에 관한 것임.- 특징 초전도 조셉슨 접합 소자 제조는 기판 위에 초전도 박막과 비정질막을 순차적으로 형성하는 단계와, 비정질막의 가장자리에 금속물질을 형성하는 단계와, 금속물질이 형성된 비정질막을 열처리하므로 금속물질에 의하여 비정질막을 결정화하는 단계와, 결정층의 일부분을 에칭하는 단계와, 에칭된 결정층에 이온을 주입하여 초전도 박막의 계면을 형성하는 단계를 포함하여 이루어짐.- 효과 성능이 우수하고, 재현성 및 신뢰성이 뛰어나며, 대면적 적용이 쉬워 양산 적용이 쉬움.
기술정보
- 기술분류
- 전기·전자 > 기타 전기/전자
- 보유기관
- 한국산업기술진흥원
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2008-01-10
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
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