일반기술
산화텅스텐 박/후막을 이용한 NOx센서 개발
최근 대도시 대기오염의 주범은 과거의 공장매연과 난방연료에서 자동차 배기가스로 바뀌었다. 자동차 배기가스의 주성분은 주로 미연소 탄화수소(CHx), 질소산화물(NOx), 일산화탄소(CO) 등의 유독가스와 이산화탄소(CO2), 수증기 및 분진이다. 그 중에서도 NOx는 그 자체로도 인체에 매우 유독하며, 광화학반응올 오존을 생성시켜 여름철 스모그현상, 지구의 온난화 및 산성비의 원인을 제공하기도 한다.본 과제는 n형 반도성 산화물인 WO3를 주요 소재로 이용하여 저농도의 NOx 가스를 감지하는 센서의 개발에 관한 것으로서, KIST의 김태송 박사팀 및 (주)우영의 성기숙 박사팀과 산학연 협력연구(G7과제) 결과이다. WO3 박막센서는 1 ppm이하의 NO2를 수초내에 감지해낼 수 있으며, 높은 감도(Rgas/Rair= 50)를 가지고, 센서 크기를 최소화해 소비전력을 낮추고 제조원가를 낮춘 것이 특징이다.
기술정보
- 기술분류
- 전기·전자 > 센서·엑츄에이터 소자 (F61)
- 보유기관
- 한국생산기술연구원
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2000-08-29
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
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