일반기술

마이크로 스트립라인형 필터의 제조방법

본 기술은 동일두께의 복수개 띠형상 기판상에 마이크로스트립라인 및 접지면을 형성한 후 상기 각 기판을 조립하여 마이크스트립라인 필터를 제조하고 조립시에 필터의 주파수 특성을 미세조정할 수 있도록 한 마이크로스트립라인형 필터의 제조방법을 제공하기 위한 것이다.- 특징유전체로 만들어진 동일두께 및 소정폭을 가진 복수개의 띠모양 기판칩인 좁은 면적의 박막을 이용하여 마이크로스트립라인형 필터를 제조하기 때문에 양질의 박막을 이용할 수 있으며, 대면적의 필터도 간단하게 제조할 수 있다.마이크로스트립라인의 형성후의 제조과정에서 뿐만 아니라 필터의 제조 후에도 접착된 기판칩을 떼어내거나 하여 기판칩의 이동이나 교환이 가능하므로 복수개의 각 기판칩에 형성된 마이크로스트립 라인간의 상대위치와 간격을 변화시킴으로써 기판의 특성이나 박막두께, 박막식각 조건에 상응하게 필터특성을 미세조정할 수 있다.본 기술은 필터를 형성하는 복수개의 기판칩중 일부칩이 불량한 경우 양호한 기판칩으로 교체하여 사용할 수 있으므로 필터특성의 수정이 용이하고 경제적이다.