일반기술
박막 검사 방법 및 그 장치
- 개요 본 기술은 다른 각도에서 입사하는 파장과 강도가 조절 가능한 2개 이상의 광원들을 통해 간섭 강도를 조절하여 다종의 박막이 혼재하더라도 최적의 검사 조건을 설정하여 충분한 신뢰성을 갖는 검사 결과를 얻을 수 있도록 하는 박막 검사 방법 및 장치에 관한 것임.- 특징 서로 다른 굴절률과 두께를 가진 패턴이 놓여지는 평판과, 파장 및 강도의 조절이 가능한 광원을 2개 이상 포함하고 패턴에 대한 광의 조사각도를 변화시킬 수 있는 조명부와, 조명부와 평판 사이에 위치되어 패턴으로 입사되는 광을 조절하는 입사광 조절부와, 패턴에서 반사된 반사광을 감지하는 센서부와, 평판과 센서부 사이에 위치되어 센서부에서 감지하는 패턴의 반사광을 조절하는 반사광 조절부와, 조명부 및 센서부의 이동을 제어하는 제어부로 구성된 광학계를 이용함.- 효과 최적의 검사 조건을 설정하여 충분한 신뢰성을 갖는 검사 결과를 획득 가능.
기술정보
- 기술분류
- 전기·전자 > 기타 전기/전자
- 보유기관
- 한국산업기술진흥원
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2008-01-10
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
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