일반기술
미소가동거울의 제조방법
본 기술은 미소가동거울(Micro Actuating Mirror)의 제조방법에 관한 것이다.- 특징리프트오프(lift off)공정을 사용하지 않으므로, 공정시간과 비용이 줄어든다.구조체 위의 금속으로 알루미늄을 사용할 수 있어 비용을 줄일 수 있으며, 구조체가 오버행(overhang)구조로 되어 있어, 전극 사이의 절연상태가 좋아 누설전류가 발생되지 않는다. 희생층을 제거한 후, 구조체 위에 금속을 증착하여 미러를 형성함으로써, 미러가 구조체의 패턴에 따라 형성되므로 응력차이에 의한 미러의 휘어짐을 방지할 수 있어 편평함에 대한 신뢰도가 상승한다.
기술정보
- 기술분류
- 전기·전자 > 기타 전기/전자
- 보유기관
- 한국산업기술진흥원
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2008-01-10
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
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