일반기술

유기 ＥＬ 소자 제조방법

- 개요 본 기술은 유기 EL 소자 제조방법을 제공하기 위한 것임.- 특징 기판 상에 다수 개로 일방향으로 하부전극들을 형성하고 폴리싱하는 단계, 하부전극들의 발광셀을 제외한 부분의 상부 일측에 하부전극들 보다 저항이 낮은 물질로 보조전극 패턴을 형성하는 단계, 보조전극 패턴을 완전히 덮도록 발광셀을 제외한 하부전극, 보조전극의 상부 및 기판 상에 절연막 패턴을 형성하는 단계, 절연막 패턴을 보조전극 패턴을 덮도록 형성한 후 에칭하여 잔사하는 보조전극 패턴을 제거하는 단계, 발광셀 영역을 포함한 기판 상에 유기EL층을 형성하는 단계, 유기EL층 상부에 상부전극을 형성하는 단계를 포함하여 이루어져, 하부전극들을 먼저 형성하고 하부전극들을 폴리싱하여 평탄하게 형성하고, 그 위에 보조전극 패턴을 형성한 후 보조전극 패턴을 완전히 덮도록 절연막을 형성함.- 효과 에칭공정을 통해 잔사 보조전극 패턴을 제거함으로써 소자의 수율을 높일 수 있음.