일반기술

첨단 반도체 센서 국산화

최근 국내 시장에서는 일반 산업용은 물론 자동차 가전제품 의료 군사용 등으로 사용되는 각종 센서의 대부분을 수입에 의존하고 있어 이에 대한 국산화가 시급한 실정이다. 현재 센서들은 소형화 다기능화의 비용화 대량 생산화 등을 위해 반도체형으로 변모하고 있다. 이런 고부가가치의 반도체형 센서는 선진 외국에서 기술이전을 기피하는 것이다. 기술을 전수받기도 어렵고 비용이 많이 소모된다. 반도체 센서는 기종의 반도체 기술에 마이크로머시닝 기술을 합한 것을 기본으로 한다. 그러나 기존의 반도체 집적회로나 IC제조시만큼 정밀하거나 고가의 시설을 맞출 필요는 없기 때문에 국내 중소기업에서도 많은 투자없이 시도할 수 있는 분야이다. 실제로 반도체 센서의 세계적인 기업이 대부분 다품종 소량생산 방식을 취하고 있어 중소기업 참여가 바람직하다.현재 세계 센서시장의 대부분을 차지하고 있는 압력센서 가속도 센서 온도습도 센서 유속 유량센서 등의 설계 및 제조기술을 보유하고 있는 본 연구실은 국산 시제품 개발단계에 있다. 이번에 개발된 반도체 센서의 주요 기술은 설계기술 제조기술 시험기술 등으로 대별할 수 있다. 여기에는 기계적 구조에 대한 이론적 시뮬레이터 개발과 같은 설계기술은 물론 미세 신호를 증폭 변환하는 회로 설계, 이론적 분석에 근거한 마스크 설계 등이 증폭된다. 현재 마이크로 머시닝, 박막 도포, 식각, 접합, 패키징 기술 등의 제조기술과 개발된 센서의 감도, 온도 특성, 장기 안정성, 기계적 강도 등을 시험하고 평가하는 기술도 이미 개발된 상태다.