일반기술
전계방출 이미터 및 그 제조방법
본 기술은 저전압 고전류 밀도를 갖는 다이아몬드상 카본재질을 이용한 전계방출 이미터 및 그 제조방법에 관한 것이다.- 특징미세패턴화가 가능한 감광성수지 패턴에 의해서 화학적 안정성으로 인하여 미세패턴화가 곤란했던 다이아몬드상 카본 전계방출 이미터를 형성할 수 있다. 이에 따라, 극히 미세하여 저전압하에 고전류밀도를 갖는 다이아몬드상 카본 전계방출 이미터를 형성할 수 있으므로 FED의 고성능화가 이루어진다.일반화된 박막공정과 도금공정 및 포토리소그라피공정과 같은 간단한 제조공정을 이용함므로써 대면적의 FED에 응용할 수 있을 뿐만 아니라 제조단가를 낮출 수 있다.
기술정보
- 기술분류
- 전기·전자 > 기타 전기/전자
- 보유기관
- 한국산업기술진흥원
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2008-01-11
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
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