일반기술

화상 검사 장치 및 그 방법

기술의 개요 - 본 기술은 화상 검사 장치 및 그 방법에 관한 것이다.기술의 특징 - 화상 검사 장치는 기판상에 형성되는 원 형상의 패턴을 촬상하는 카메라, 카메라에 의해 촬상된 영상의 빛의 밝기를 수치화하고 그에 따른 수치 신호를 생성 출력하는 화상 획득부, 수치 신호에 따라 카메라 포커스의 적합 여부를 판단하는 화상 처리부, 화상 처리부의 판단 결과에 따라 카메라의 포커스를 조정하는 포커스 조정부로 구성된다. - 화상 검사 방법은 패턴의 중심을 가로지르는 방향에 따라 카메라에서 촬상된 영상의 빛의 밝기를 화상 획득부에서 수치화하여 그에 따른 수치 신호를 생성 출력하게 되면 화상 처리부에서 패턴 내의 빛의 균일 여부를 수치 신호를 통해 판단 후 빛의 밝기가 균일하지 않을 경우, 패턴 내에 존재하며 빛의 밝기가 다른 임의의 두 점을 설정하고 패턴의 중심으로부터 거리를 반경으로 하는 원의 면적 비를 통해 포커스 조정량을 결정하고, 그에 따라 카메라의 포커스를 조정하도록 하여 정량화된 포커스 조정량을 통하여 포커스를 조정하는 것을 특징으로 한다.기술의 효과 - 본 기술로 카메라 포커스를 객관적으로 조정할 수 있을 뿐만 아니라, 포커스 상태를 균일하게 유지할 수 있는 효과가 있다.