일반기술
2차원 ＣＣＤ를 이용한 기판간의 간격 측정장치
본 기술은 노광공정과 같이 두 기판 사이의 간격이 아주 중요한 인자로 작용하는 공정에서 두 기판간의 간격을 측정하기 위한 장치에 관한 것이다.- 특징2차원 CCD의 감지결과에서 레이저빔의 미세한 광량 변화에 따른 불안정한 요소가 제거되어 마스크(M)와 글래스(G) 간의 간격에 대한 안정적인 측정결과를 얻을 수 있다.2차원 CCD를 이용하여 평면적인 화상을 얻을 수 있으므로 두 개의 레이저빔의 광축을 얼라인먼트하기 쉽게 되어 측정이 용이하다.감지결과를 모니터의 화면을 통해 시각적으로 확인할 수 있으므로 작업자가 육안으로 관찰하면서 마스크(M)와 글래스(G) 간의 간격을 조정할 수 있다.
기술정보
- 기술분류
- 전기·전자 > 기타 전기/전자
- 보유기관
- 한국산업기술진흥원
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2008-01-11
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
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