일반기술
마스크와 글래스의 정렬장치 및 그 방법
기술의 개요 - 본 기술에 따른 마스크와 글래스의 정렬장치 및 그 방법에 관한 것이다.기술의 특징 - 글래스와 마스크가 상하방향으로 배치된 상태에서 마스크의 얼라인 마크을 통해 레이저 빔을 조사하여 글래스로부터 반사된 레이저 빔 영상만을 촬상한 후, 촬상된 레이저 빔 영상의 길이와 기저장된 기준치를 비교하여 글래스와 마스크의 상대 위치를 직접 측정하는 것이 특징이다.기술의 효과 - 본 기술은 글래스 홀더 및 마스크 홀더 등의 기기의 변화에 상관없이 항상 글래스와 마스크의 상대적인 위치를 자동으로 정확하게 측정할 수 있다.
기술정보
- 기술분류
- 전기·전자 > 기타 전기/전자
- 보유기관
- 한국산업기술진흥원
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2008-01-11
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
관련 특허
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