일반기술

노광기의 피딩장치

기술의 개요 - 본 기술은 노광기의 피딩장치에 관한 것이다.기술의 특징 - 테이프 기판의 일부위가 그 사이로 끼워질 수 있도록 제1스테이지에 각각 회전 가능토록 설치된 제1상,하부 롤러, 테이프 기판의 폭 방향으로 제1상, 하부 롤러와 이격되어 테이프 기판의 타부위가 그 사이로 끼워질 수 있도록 제2스테이지에 각각 회전 가능토록 설치된 제2상,하부 롤러, 제1,2상부 롤러 또는 제1,2하부 롤러와 제1,2스테이지를 관통한 회전축을 통해 연결되어 제1,2상부 롤러 또는 제1,2하부 롤러를 회전시키는 이송모터로 구성되어 있으며, 챔버의 일 측에서 공급되는 테이프 기판의 폭에 따라 스테이지의 간격이 조절되는 것을 특징으로 한다.기술의 효과 - 본 기술은 다양한 크기의 테이프 기판을 이동시키고, 정확한 위치로 배치시킬 수 있어 제품 모델이 변경되어도 이송장치 및 정렬장치의 교체 없이 신속한 모델 변경이 가능하여 높은 생산성의 노광 작업을 이룰 수 있는 이점이 있다.