일반기술

정밀 스테이지의 원점 설정방법

기술의 개요 - 본 기술은 정밀 스테이지의 원점 설정방법에 관한 것이다.기술의 특징 - 직각도를 유지하기 위하여 동일 방향으로 설치된 좌우 2개의 축에 각각 리니어 모터가 설치된 정밀 스테이지에서 우측의 리니어 모터를 오프시킨 상태에서 좌측의 리니어 모터를 가동시켜 원점 복귀를 실시한 후 좌측 오프셋을 발생시키는 제1단계, 좌측의 리니어 모터를 오프시킨 상태에서 우측의 리니어 모터를 가동시켜 원점 복귀를 실시한 후 우측 오프셋을 발생시키는 제2단계, 좌측 오프셋과 우측 오프셋의 중간값을 이용하여 기구적 평형 위치를 정확한 원점 위치로 설정하는 제3단계로 구성되어 있다. - 정밀 스테이지를 초기 작동시킬 때 좌우 모터의 기구적 평형점에 모터를 위치시켜 원점을 설정한 이후에 작동되는 특징이 있다.기술의 효과 - 본 기술로 정확한 직각도를 유지할 수 있으며 조립 작업시 직각도에 대한 과도한 고려를 요구하지 않는 효과가 도출된다.