일반기술
화상디바이스 검사를 위한 먼지 구별 장치 및 그 방법
본 기술은 화상디바이스의 검사시 결함과 먼지의 형태적인 차이를 이용하여 먼지와 결함을 구별 함으로써 화상디바이스 검사에 정확성을 기하도록 한 화상디바이스 검사를 위한 먼지 구별 장치 및 그 방법에 관한 것이다.- 특징결함과 먼지의 형태적인 차이를 이용하여 먼지와 결함을 정확히 구분할 수 있어 먼지 때문에 양품이 불량으로 판정되는 경우를 대폭 줄일 수 있다.종래에는 먼지에 의한 오판때문에 큰 결함만을 검출하였으나, 본 발명에서는 먼지와 결함을 구분함으로써 주변 구멍들과의 차이가 작게 나는 불량에 대해서도 검출이 가능하다.
기술정보
- 기술분류
- 전기·전자 > 기타 전기/전자
- 보유기관
- 한국산업기술진흥원
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2008-01-14
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
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