일반기술
전계방출팁 제조방법 및 그를 이용한 전계방출소자
본 기술은 전계방출팁의 일함수를 낮추어 전계방출 효율을 높이는 전계방출 팁 제조방법 및 그를 이용한 전계방출 소자에 관한 것이다.- 특징규소화합물/질화물 혼성 전극을 형성시킴과 아울러, 질화물층이 열역학적으로 안정된 구조를 가지므로 전계방출 효율을 향상시킬수 있다.질화물층의 표면균일도(Uniformity)가 우수하여 불순물에 의한 오염을 줄일수 있어 스파크등에 의한 돌발적인 불량을 줄일수 있다.
기술정보
- 기술분류
- 전기·전자 > 기타 전기/전자
- 보유기관
- 한국산업기술진흥원
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2008-01-14
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
관련 특허
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