일반기술
전계자 방출소자와 그 제조방법
본 기술은 전계방출 디스플레이나 기타 진공중에서의 전자방출을 위해 이용되는 전계방출소자와 그 제조방법에 관한 것이다.- 특징진공증착법에 의해 고밀도를 갖고 보다 예리한 선단부를 갖는 팁을 형성함으로써 팁의 안정성이 향상되고 전자방출전압을 낮출 수 있다.박막화가 가능한 물질은 모두 이용가능하므로 이미터재료의 선택의 폭이 넓어진다. 이미터전극에서 전자가 방출되는 부위까지 얇은 두께의 전자방출물질에 의해 전자가 이동되므로 적절한 전자방출물질을 선택하는 경우 팁의 안정성을 위한 저항층을 별도로 구비할 필요가 없다.박막제조공정 및 식각공정과 같은 일반화된 공정을 이용하여 제조하므로 특별한 장치의 조작을 요하는 종래의 스핀트법보다 제조공정이 비약적으로 간단해진다.대면적화를 실현함에 있어서 공정이 제약이 적으로므로 대화면의 디스플레이를 용이하게 구현할 수 있다.
기술정보
- 기술분류
- 전기·전자 > 기타 전기/전자
- 보유기관
- 한국산업기술진흥원
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2008-01-14
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
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