일반기술
박막제조 장치
기술의 개요 - 본 기술은 박막제조 장치에 관한 것이다.기술의 특징 - 진공 상태의 챔버(CHAMBER)와 열증착할 시료가 담겨져 챔버 하부에 장착되는 보오트(BOAT), 챔버 상부에서 기판을 고정시키는 샘플 홀더, 보오트와 기판 사이에 위치해 보오트에 담긴 시료가 기화되기 직전에 잔존하는 불순물들이 기판에 증착되지 못하게 막는 셔터(SHUTTER), 보오트에 담긴 시료가 모두 사용되면 보오트상에 얼라인되어 보오트에 시료를 공급하는 연속 공급장치를 포함하여 구성된다.기술의 효과 - 본 기술로 연속 공급장치를 이용해서 챔버의 진공을 깨지 않고서도 보오트에 시료를 공급할 수 있으므로 공정시간을 단축시킬 수 있고, 이를 이용해 제조되는 박막의 막질이 개선된다.
기술정보
- 기술분류
- 전기·전자 > 기타 전기/전자
- 보유기관
- 한국산업기술진흥원
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2008-01-15
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
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