일반기술

노광공정의 위치측정장치 및 위치측정방법

- 개요 본 기술은 실내 공기를 쾌적하게 조절하는 공기조화기에 관한 것으로서, 특히 실내 공기를 흡입하여 냉각한 후 실내로 토출하여 실내를 냉동하는 공기조화기에서 심야전력이나 산업용전력 등의 값싼 전력을 사용하여 냉매를 응축시키는 실외기의 열교환시스템을 개선하여 냉동효율을 증가시키는 공기조화기의 고효율 냉동시스템에 관한 것임.- 특징 노광공정의 위치측정장치 및 위치측정방법은 마스크와 기판의 정렬여부 확인시 CCD 카메라를 마스크의 상측에 수직하게 배치시켜 마스크 및 기판의 마크 영상을 획득하고 이를 디스플레이부에서 출력하여 마스크와 기판의 정렬여부를 확인하며, 마스크와 기판이 서로 일치된 상태에서 마스크와 기판 사이의 갭을 측정시 CCD 카메라를 정렬확인 작업위치에서 경사지게 배치하여 마스크 및 기판의 마크 영상을 획득하고 이를 디스플레이부에서 출력하여 디스플레이부에서 측정한 마크간의 중심거리를 이용해 마스크와 기판 사이의 갭을 산출함.- 효과 하나의 장비로 마스크와 기판의 일치여부 및 마스크와 기판 사이의 갭을 산출할 수 있어 비용 및 작업 공간이 감소되고, 갭 측정시 기판에 코팅된 재질의 영향을 받지 않아 오차를 방지할 수 있음.