일반기술

밸룬 제조방법

기술의 개요 - 본 기술은 밸룬 제조방법에 관한 것이다.기술의 특징 - 기판의 상부 일부에 위치하는 절곡된 주전송선로, 주전송선로의 절곡부에 의해 형성된 두 면의 외측으로 소정거리 이격된 위치에 각각 위치하며 출력단이 기판의 주변부로 절곡된 두 Λ/4 유니폼 전송선로, Λ/4 유니폼 전송선로의 출력단에 연결되며 Λ/4 유니폼 전송선로 각각에 대하여 평행한 두 전송선로로 밸룬을 구성하되 저면에 접지전극이 형성된 기판의 상부에 시드금속층을 형성하는 단계, 시드금속층의 상부에 포토레지스트를 도포하고 자외선 또는 엑스레이에 선택적으로 노광시킨 후 그 포토레지스트를 현상하여 소정 두께의 포토레지스트 패턴을 형성하는 단계, 포토레지스트 패턴 사이에 노출된 시드금속층의 상부에 그 포토레지스트 패턴의 두께에 따른 두께의 금속층을 성장시켜 절곡된 주전송선로, 그 주전송선로에 대향되는 Λ/4 유니폼 전송선로 및 그 Λ/4 유니폼 전송선로와는 출력단이 직접 연결되는 전송선로를 형성하는 단계, 포토레지스트 패턴과 그 하부의 시드 금속층을 제거하는 단계로 구성된다.기술의 효과 - 본 기술은 각 전송선로를 단일 공정으로 모두 형성하며, 그 연결 또한 이루게 되어 연결수단을 형성하는 공정이 필요없어 공정의 신뢰성을 향상시키고, 수율을 높이며 제조비용 또한 절감하는 효과가 있다.