일반기술
박막 용적 탄성파 공진기를 이용한 부유분진 센서
기술의 개요 - 본 기술은 박막 용적 탄성파 공진기(TFBAR)를 이용한 부유분진(TSP) 센서에 관한 것으로, 반도체 공정을 통해 소형으로 제조한 TSP 임팩터와 TFBAR을 구비한 센서를 극히 소형으로 제공하여 대기중 TSP의 양을 빠르고 정확히 측정할 수 있도록 한 박막 용적 탄성파 공진기를 이용한 부유분진 센서에 관한 것이다. 기술의 효과 - 본 기술은 반도체 공정을 이용하여 미세한 먼지 입자만 선별 통과시킬 수 있는 미세한 크기의 TSP 임팩터와, 반도체 공정을 통해 크기와 비용을 줄이면서 감도를 크게 높인 TFBAR을 측정부로 포함한 부유분진 센서를 제공함으로써 전체 센서의 크기와 비용을 줄이고 빠른 시간에 정밀한 TSP 함유량 측정이 가능하도록 하여 먼지와 관련한 실내 공기의 질을 정확히 평가 할 수 있도록 함과 동시에 다양한 응용 제품에 용이하게 적용할 수 있는 뛰어난 효과가 있다.
기술정보
- 기술분류
- 전기·전자 > 기타 전기/전자
- 보유기관
- 한국산업기술진흥원
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2008-01-15
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
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