일반기술
정전 구동형 마이크로-미러 소자 및 그를 이용한 광 픽업 장치
본 기술은 광 정보 저장 장치(optical data storage)의 기록/재생을 위한 입력 광을 미세 조절할 수 있는 정전 구동형 마이크로-미러 소자 및 그를 이용한 광 픽업 장치에 관한 것이다.- 특징미세 광학계 부품인 미러, 광선 위치 조절기를 일체화/집적화 함으로써, 광학계의 크기를 초 소형화/경량화 할 수 있고, 기판에 수직인 방향으로 미러를 평행 구동함으로써, 광선의 선형적인 위치 조절이 가능하다.광선의 위치 조절을 나노 미터 수준으로 제어할 수 있고, 정전 방식의 구동기를 집적하여 이용함으로써, 소모 전력을 낮출 수 있다.기판에 수직인 방향으로 선형적인 구동 특성을 갖는 정전 구동 방식의 구동기는 고밀도 광 정보 저장 장치의 픽업 장치를 실현할 수 있게 할 뿐만 아니라, 초정밀 광 스캐너 등의 미세 빔 위치 조절 장치로도 응용될 수 있다.
기술정보
- 기술분류
- 전기·전자 > 기타 전기/전자
- 보유기관
- 한국산업기술진흥원
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2008-01-16
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
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