일반기술
광스위치용 압전구동형 미소거울 및 그 제조방법
- 개요 본 기술은 광스위치용 압전구동형 미소거울 및 그 제조방법에 관한 것임.- 특징 미소거울이 중앙부에 실장되는 미소거울 지지부와, 미소거울 지지부의 양끝단 좌우측과는 탄성계수가 낮은 연결부를 통해 연결되며, 전압의 인가에 따라 미소거울 지지부를 제1축을 기준으로 구동하는 복수의 제1캔틸레버와, 복수의 제1캔틸레버를 지지함과 아울러 대응하는 양측면 중앙의 외측으로 돌출부를 가지는 지지부를 구비하는 구동부와, 구동부의 지지부의 돌출부의 좌우측과는 탄성계수가 낮은 연결부를 통해 연결되며, 구동부를 제1축과는 수직으로 교차하는 제2축을 기준으로 구동하는 복수의 제2캔틸레버를 포함하여 구성하여, 미소거울 지지대와 캔틸레버를 폴리이미드를 사용하여 연결함.- 효과 시계방향 및 반시계방향, 양 방향으로 미소거울을 구동시킴이 가능함과 아울러 그 미소거울의 구동각도를 증가시킬 수 있음.
기술정보
- 기술분류
- 기계 > 기타 기계
- 보유기관
- 한국산업기술진흥원
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2008-01-16
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
관련 특허
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