일반기술

초소형 가변 커패시터 및 그 제조방법

- 개요 본 기술은 초소형 가변 커패시터 및 그 제조방법에 관한 것임.- 특징 절연기판의 상에서 일측방향으로 긴 형상으로 위치하는 하부전극과, 하부전극의 길이 방향에 대하여 각각 이격되어 수직으로 교차하며, 양끝단이 절연기판 상에 고정된 복수의 리본형 상부전극으로 구성되는 초소형 가변 커패시터를 절연기판의 상부에 금속을 증착하고, 패터닝하여 일측 방향으로 긴 형태의 하부전극을 형성하는 하부전극 형성단계와, 하부전극의 상부와 그 주변의 절연기판 일부에 희생층을 형성하는 희생층 형성단계와, 구조의 상부전면에 질화막과 금속을 순차적으로 증착하고, 패터닝하여 희생층의 상부에 중앙부 희생층의 길이방향과 수직으로 교차하며, 양측단부가 절연기판의 상부일부에 위치하는 다수의 리본을 형성하는 리본 형성단계와, 희생층을 선택적으로 식각하는 희생층 제거단계로 구성되는 제조방법을 통해 제조하여 정전용량에 변화를 주기위해 특정 수의 리본형 상부전극을 구동시킴.- 효과 소비전력을 낮추고 구동속도를 향상시키는 효과가 있으며, 두 평판의 거리에 따라 정전용량을 가변시키는 방법에 비하여, 구동되는 리본의 수를 제어함으로써 미세한 정전용량의 가변을 실현할 수 있음.