일반기술
강유전체 커패시터 제조방법
본 기술은 커패시터에 관한 것으로, 특히 강유전체 커패시터 제조방법에 관한 것이다.- 특징건식 식각 공정시 TiO2 식각 정지층을 사용함으로써, 구조적으로 단차의 존재 유무와 상관 없이 용이하게 강유전체 커패시터를 제작할 수 있다.하나의 마스크를 이용하여 일괄적으로 상부전극/강유전체층/하부전극을 식각할 수 있으므로 공정이 간단하다.
기술정보
- 기술분류
- 전기·전자 > 기타 전기/전자
- 보유기관
- 한국산업기술진흥원
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2008-01-16
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
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