일반기술
ＲＦ스위치 및 그 제조방법
본 기술은 RF 스위치에 관한 것으로, 특히 MEMS(Micro Electro Mechanical System) 기술을 이용한 RF 스위치 및 그 제조방법에 관한 것이다.- 특징절연층을 마스크로 하여 실리콘 기판에 트랜치를 형성하고 이때 만들어진 오버행을 이용하여 RF 스위치를 제작함으로써 구동 전압을 낮출 수 있다.
기술정보
- 기술분류
- 전기·전자 > 기타 전기/전자
- 보유기관
- 한국산업기술진흥원
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2008-01-16
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
관련 특허
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