일반기술
레이저 다이오드의 반사체 제조 방법
기술의 개요 - 본 기술은 레이저 다이오드의 반사체 제조방법에 관한 것이다.기술의 특징 - 실리콘기판의 상부에 감광막을 도포하는 단계, 감광막의 상부에 감광막의 일부 영역이 노출되도록 금속박막을 형성하는 단계, 금속박막이 형성된 실리콘기판을 노광기의 빔 진행방향과 경사지도록 기울여 노광함으로써 감광반응부를 형성하는 단계, 금속박막을 제거하고 감광반응부를 현상한 후 감광반응부 이외의 감광막을 제거하는 단계, 감광반응부상에 레이저 반사막을 증착하는 단계로 구성된다.기술의 효과 - 본 기술은 실리콘기판의 면방위와 무관하게 경사면이 45° 또는 자외선 노광기 웨이퍼 척의 기울임 정도에 따라 임의의 기울기를 갖는 레이저의 반사체를 쉽고, 재현성 있게 제조할 수 있다.
기술정보
- 기술분류
- 전기·전자 > 기타 전기/전자
- 보유기관
- 한국산업기술진흥원
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2008-01-16
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
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