일반기술

고주파 스위치 제조방법

기술의 개요 - 본 기술은 고주파 스위치 제조방법에 관한 것이다.기술의 특징 - 실리콘기판의 상부에 하부전극을 형성하는 공정, 하부전극이 형성된 실리콘기판의 상부에 희생층을 형성하는 공정, 희생층이 형성된 실리콘기판의 상부에 폴리이미드막을 증착하고 패터닝하여 멤브레인을 형성하는 공정, 하부전극 상의 희생층 상부에 형성된 멤브레인을 식각하여 박막화하는 공정, 멤브레인을 포함한 실리콘기판의 상부에 상부전극을 형성하는 공정, 희생층을 식각하여 제거하는 공정을 수행하는 것이 특징이다.기술의 효과 - 본 기술은 고주파 스위치 제조방법을 통해 멤브레인 구조체가 분리되지 않고 에어 갭 상에 떠있게 되므로, 기계적으로 더욱 안정한 구조체를 제작함과 아울러 절연막의 증착공정을 스킵하여 공정을 단순화할 수 있다. - 또한, 멤브레인이 소수성물질이므로 건조시에 모세관 현상을 방지할 수 있어 제조비용을 줄이고, 수율을 향상시킬 수 있는 효과가 있다.