일반기술
마이크로 미러
- 개요 본 기술은 광 통신용 스위치에 사용되는 정전 구동형 마이크로 미러에 관한 것임.- 특징본 기술에 따른 마이크로 미러는 메사 구조의 제 1 기판, 제 1 기판의 중심영역에 형성된 다수개의 전극들, 중심 영역에 캐비티를 갖는 제 1 기판 위에 형성하는 제 2 기판, 그리고, 제 2 기판의 캐비티 영역에 위치하고, 전극의 인가 전압에 의해 소정의 방향으로 회전하는 미러를 포함하여 구성됨.- 효과 제작 공정이 간단하여 공정 신뢰도가 향상됨.
기술정보
- 기술분류
- 전기·전자 > 기타 전기/전자
- 보유기관
- 한국산업기술진흥원
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2008-01-17
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
관련 특허
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