일반기술
양 방향 구동 가능한 정전기식 미세 전극 및 그 제조방법
- 개요 본 기술은 양 방향 구동 가능한 정전기식 미세 전극 및 그 제조방법에 관한 것임.- 특징 양 방향 구동 가능한 정전기식 미세 전극은, 제1전극과, 제1전극의 일측에 소정 거리 이격되어 제1전극과 절연을 유지하도록 배치되는 제2전극과, 제1전극과 절연을 유지하고 제2전극의 두께방향을 따라 절연층을 사이에 두고 제2전극과 층상으로 배치되는 제3전극을 포함하여 구성되고, 제1전극과 제2전극 및 제3전극의 결합체중 어느 하나는 고정되고 다른 하나는 두께방향을 따라 유동됨.- 효과 시스템의 크기 및 중량을 줄일 수 있으며 응답속도를 향상시킬 수 있음.
기술정보
- 기술분류
- 전기·전자 > 기타 전기/전자
- 보유기관
- 한국산업기술진흥원
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2008-01-17
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
관련 특허
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