일반기술

평판 디스플레이의 패턴검사방법

본 기술은 라인카메라를 이용한 평판 디스플레이의 패턴검사방법에 관한 것으로서, 특히 검사 대상 패턴의 기울어짐에 의한 영향을 받지 않고 패턴의 주기 값을 자동으로 인식하여 패턴을 정확히 검사하기 위한 평판 디스플레이의 패턴검사 방법에 관한 것이다.- 특징일정한 패턴 주기 값을 갖는 패턴에는 물론이고 패턴의 주기 값이 불규칙한 경우에도 적용될 수 있도록 패턴에 대한 1차원 디지털 값 분포를 주파수 확장을 적용한 디지털 푸리에 변환(DFT , Digital Fourier Transformation)을 통해 주파수 분포로 변환함으로써 패턴의 주기 위치를 명확하게 찾을 수 있을 뿐만 아니라 불규칙한 패턴의 주기 값을 자동으로 인식할 수 있어 정밀한 패턴 검사를 수행할 수 있고, 패턴의 장착오차에 영향을 받지 않고 정밀한 패턴 검사를 수행할 수 있다.

기술정보

기술분류
전기·전자 > 기타 전기/전자
보유기관
한국산업기술진흥원
기술유형
일반기술
등록일
2008-01-21
데이터 갱신일
정보 없음

상세설명

정보 없음

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