일반기술
마이크로 스위치의 제조 방법
본 기술은 전자 시스템에 관한 것으로, 특히 정전기력(electrostatic force)을 이용하여 구동되는 마이크로 스위치의 제조 방법에 관한 것이다.- 특징도금한 금속 피막(electroplated metallic film)을 이용하기 때문에 높은 전류의 전달이 가능하여 전력용으로 사용할 수 있다.새롭게 제안된 습식 식각(wet etching) 공정을 이용하여 희생층을 빠른시간내에 제거함으로써, 소자의 제조시간을 줄일 수 있다.
기술정보
- 기술분류
- 전기·전자 > 기타 전기/전자
- 보유기관
- 한국산업기술진흥원
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2008-01-21
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
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