일반기술

부상형 슬라이더 헤드 및 그 제조방법

- 개요 본 기술은 부상형 슬라이더 헤드 및 그 제조방법을 제공하기 위한 것임.- 특징 정보 기록 매체와 소정의 간극을 유지시키는 에어-베어링 서페이스(AIR-BEARING SURFACE)를 갖는 부상형 슬라이더 헤드에 있어서, 외부 광학계로부터 광을 투과하는 광사출구를 구비한 기판, 기판에 소정 높이로 적어도 하나 형성된 패드, 패드와 기판의 에지 사이에 형성된 접착물, 패드 상부에 적어도 두층 이상의 박막층이고, 하부보다 상부에 형성되는 박막층의 열팽창 계수가 큰 물질로 형성된 에어-베어링 서패이스, 에어-베어링 서패이스의 에지에서 접착물을 경유하여 기판의 에지까지 형성되고, 연장된 부분을 갖는 테이퍼 구조물을 포함하여 구성되어, 반도체 소자 제조 기술 및 표면 마이크로머시닝 기술로 바이메탈 원리에 의한 변형력을 이용하여 웨이퍼 레벨에서 대량으로 슬라이더 헤드의 초기 부상을 위한 에어-베어링 서패이스와 함께 테이퍼 구조물을 자동적으로 형성함.- 효과 개별 슬라이더 헤드 간의 테이퍼 형상 균일도를 향상시킬 수 있고 슬라이더 헤드의 양산성을 높임.