일반기술
탭핑 모드를 이용한 자기장 분포 측정 장치
- 개요 본 기술은 자기 센서의 물리적 크기의 변화 없이 자기장 분포 측정 시에 공간 분해능을 향상시킬 수 있도록 한 탭핑 모드를 이용한 자기장 분포 측정 장치에 관한 것임.- 특징 시료의 자기장을 측정하는 자기 센서와 이를 구동하기 위한 센서 구동 회로, 시료를 XY 방향으로 이동시키는 XY 이동 스테이지와 이를 구동하는 XY 이동 컨트롤러, 자기 센서, XY 이동 스테이지를 상하로 진동시키기 위한 제 1,2 상하 진동 장치, 제 1,2 상하 진동 장치를 구동하는 탭핑 이동 컨트롤러, 센서 구동 회로의 출력을 분석하고 XY 이동 컨트롤러 및 탭핑 이동 컨트롤러를 제어하는 신호 처리부를 포함함.- 효과 소자의 미세화, 고집적화에 따른 미세 선폭의 자기장 측정을 효율적으로 이루어지도록 함.
기술정보
- 기술분류
- 전기·전자 > 기타 전기/전자
- 보유기관
- 한국산업기술진흥원
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2008-01-21
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
관련 특허
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