일반기술
전계 방출 소자의 제조방법
- 개요 본 기술은 팁의 손상을 방지함과 아울러 공정을 단순화할 수 있는 전계 방출 소자의 제조방법에 관한 것임.- 특징 기판 상에 하부전극을 형성하는 단계와, 하부전극 상에 산소확산 방지막을 형성하는 단계와, 산소확산 방지막을 패터닝하는 단계와, 양극산화법을 사용하여 하부전극을 산화시켜 양극 산화막을 형성하여 산소확산 방지막에 대응되는 하부전극에 마이크로 팁을 형성하는 단계와, 양극 산화막과 산소확산 방지막 상에 상부전극을 형성하는 단계와, 상부전극이 형성된 산소확산 방지막을 제거하여 전계방출공을 형성하는 단계를 포함함.- 효과 팁의 손상을 방지함과 아울러 공정을 단순화시킬 수 있음.
기술정보
- 기술분류
- 전기·전자 > 기타 전기/전자
- 보유기관
- 한국산업기술진흥원
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2008-01-21
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
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