일반기술

선택적 영역 성장 기반 SLD 기술

<기술개요및특징>fiber optic sensor및 WDM system 테스트 용 등으로 사용되는 넓은 파장 대역 폭과 높은 출력을 가지는 반도체 광원실리콘 기반 초고속 광 인터커넥션 IC 과제는 정보통신부 IT원천기술개발 사업으로 2006년 2월 1일부터 시작되었다. 실리콘 인터커넥션 칩의 외부 광원으로 사용할 목적으로 2 차년도에 100 mW 급 SLD 개발 하였으며 3차년도에는 fiber pig-tailing이 된 SLD 모듈 개발을 계획하고 있다. 이 단계에 이르면 SLD 칩 및 모듈 기술은 완성도가 높아져 실리콘 기반 초고속 광 인터커넥션 IC 과제에서 활용하는 이외에도 시스템 업체에 sampling 할 수 있는 단계에 이를 것으로 예상된다. 이러한 SLD기술 개발의 결과를 기술이전을 통한 상용화의 시도를 통해 산업체 매출을 증대하고 SLD의 다른 응용 분야에서의 신시장을 확대하는 데 목적이 있다.<활용방안 및 기대성과>-WDM passive optical network의 broadband light source -OCT(Optical coherence tomography)의 광원 -광섬유 자이로스코프의 광원 -유기 가스 검출 센서 및 fiber-optic 센서의 광원 -WDM system test 용 광원 <기술이전범위>① SLD 칩 설계 기술 -SLD 칩 에피 설계도 -SLD 칩 제작용 마스크 설계도 ② SLD 칩 제작 공정 기술 - SLD 칩 제작을 위한 공정 흐름도 ③ SLD 칩