일반기술
박막 용적 탄성파 공진기를 이용한 물질 센서 모듈
- 개요 본 기술은 물질 센서 모듈에 관한 것임.- 특징 박막 용적 탄성파 기전 물질을 공유하며, 감지물질 반응층을 가진 측정 공진기와 감지물질 반응층이 없는 기준 공진기의 쌍으로 구성된 물질 센서가 배치된 물질 센서칩과, 물질 센서칩의 각 전극들과 연결되는 패드를 가지며, 해당 패드와 연결된 외부 연결 핀들 및 센서칩을 보호 및 지지하는 구조물을 구비한 센서 패키지와, 물질의 점착 정도를 측정하기위해 센서의 각 공진기들의 전극과 연결되는 신호처리 회로로 이루어지는 박막 용적 탄성파 공진기를 이용한 물질 센서 모듈을 제공함.- 효과 센서의 감지도를 개선하고 동시에 다수의 물질들을 검출할 수 있도록 하며 센서 패키지의 교환이 가능하도록 함과 아울러, 단일 기판 상에 센서부와 신호처리 회로를 집적하도록 하여 센서 모듈의 크기를 줄임.
기술정보
- 기술분류
- 전기·전자 > 기타 전기/전자
- 보유기관
- 한국산업기술진흥원
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2008-01-22
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
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