일반기술
듀얼 ＰＳＤ를 이용한 기판간의 간격 측정장치
본 기술은 두 기판간의 간격을 조정하기 위해 듀얼 PSD(Position Sensitive light Detector)를 이용하여 상기한 두 기판 사이의 간격을 측정하는 듀얼 PSD를 이용한 기판간의 간격 측정장치에 관한 것이다.- 특징듀얼 PSD가 1㎛이하까지 측정 가능한 고분해능이므로 두 기판, 즉 마스크와 글래스간의 간격에 대한 정밀한 측정이 가능하고, 이에 따라 두 기판간의 간격을 정확히 조정할 수 있다.
기술정보
- 기술분류
- 전기·전자 > 기타 전기/전자
- 보유기관
- 한국산업기술진흥원
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2008-01-22
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
관련 특허
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