일반기술
대면적 스테이지의 빔
본 기술은 대면적 스테이지의 빔에 관한 것으로, 대면적 스테이지의 빔에서 발생될 수 있는 처짐을 보다 적극적으로 방지 및 최소화시켜 스테이지의 고정밀도를 실현할 수 있도록 한 대면적 스테이지의 빔에 관한 것이다.복합재료로 이루어진 내부 프레임(frame)(1)과, 내부 프레임의 측면에 구비되는 압축력 도입부와, 내부 프레임의 외측에 구비되는 금속보강재와, 금속보강재의 양단부에 착탈가능하게 구비되는 엔드클로우져(end closure)(4),로 구성됨으로써 한 미세한 처짐을 보다 능동적으로 최소화할 수 있는 효과가 있다.
기술정보
- 기술분류
- 전기·전자 > 기타 전기/전자
- 보유기관
- 한양대학교
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2008-01-22
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
관련 특허
등록된 관련 특허가 없습니다.