일반기술
티형 게이트 제조방법
본 기술은 티(T)형 게이트에 관한 것으로, 특히 고주파 대역에서 사용되는 FET(Field Effect Transistor)의 티형 게이트 제조방법에 관한 것이다.- 특징저저항, 고주파 동작이 가능하도록 티형 게이트 길이를 안정적으로 조절할 수 있어 양산시 높은 수율이 가능하다.전자빔 라이팅 기술을 사용하지 않고 티형 게이트를 제작할 수 있어 제조 비용을 크게 낮출 수 있고 공정 시간을 단축할 수 있다.
기술정보
- 기술분류
- 전기·전자 > 기타 전기/전자
- 보유기관
- 한국산업기술진흥원
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2008-01-22
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
관련 특허
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