일반기술

플라즈마 디스플레이 패널의 전극제조방법

- 개요 본 기술은 플라즈마 디스플레이 패널의 양산성을 향상시킬 수 있는 플라즈마 디스플레이 패널의 전극제조방법에 관한 것임.- 특징 기판 상에 적어도 하나 이상의 제1 금속층을 적층하는 단계와, 제1 금속층 상에 제1 금속층보다 저항이 낮은 제2 금속층을 적층하는 단계와, 제2 금속층 상에 소성공정으로 인한 제2 금속층의 변형을 방지하기 위한 도금층을 적층하는 단계와, 도금층 상에 제1 금속층, 제2 금속층 및 도금층 중 적어도 어느 하나보다 두께가 얇은 감광성수지패턴을 형성하는 단계와, 감광성수지패턴을 통해 노출된 도금층을 식각하여 제거하는 단계와, 감광성수지패턴을 통해 노출된 제1 및 제2 금속층을 식각하여 제거하는 단계와, 도금층 상의 감광성수지를 제거하는 단계를 포함함.- 효과 금속층 상에 전극층을 형성한 후 포토레지스트를 도포함으로써, 얇은 포토레지스트의 사용이 가능하여 포토레지스트의 비용을 절감할 수 있음.