일반기술
평판 디스플레이용 수직형 노광기의 포토 마스크 자동교환방법 및 자동 교환장치
- 개요 본 기술은 평판 디스플레이용 수직형 노광기의 포토 마스크 자동 교환방법 및 장치에 관한 것임.- 특징 원하는 포토 마스크 위치에 포토 마스크 홀더를 정렬하는 단계, 포토 마스크 보관장치의 포토 마스크를 상시 포토 마스크 홀더로 투입하는 단계, 포토 마스크 홀더로 투입된 포토 마스크의 수평 위치 및 수직 위치를 결정하는 단계, 포토 마스크를 포토 마스크 홀더 쪽으로 이동시킨 후 포토 마스크 홀더로 흡착하여 안착시키는 단계, 포토 마스크 홀더를 노광 위치로 이동시켜 노광 작업을 진행하는 단계, 노광 작업이 완료된 후 포토 마스크의 안착 순서와 역순으로 진행하여 포토 마스크를 포토 마스크 보관장치로 회수하는 단계로 구성됨.- 효과 포토 마스크의 교환이 자동으로 이루어지므로 포토 마스크의 오염 및 훼손이 방지되고, 정렬 및 갭 오차가 감소되어 노광 품질이 향상됨.
기술정보
- 기술분류
- 전기·전자 > 기타 전기/전자
- 보유기관
- 한국산업기술진흥원
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2008-01-22
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
관련 특허
등록된 관련 특허가 없습니다.