일반기술
극자외선 노광 공정용 Ｒｕ / Ｍｏ / Ｓｉ 반사형 다층 박막미러
본 기술은 차세대 노광공정 중 하나인 극자외선 노광 기술에 쓰이는 반사형 미러를 Ru/Mo/Si을 일정한 두께로 교대로 적층시켜 형성함에 의해 극자외선 영역의 빛에 대해 고반사율을 가진 다층박막 미러를 극자외선 노광공정용 마스크에 적용시켜 수율을 향상시킬 수 있는 극자외선 노광 공정용 Ru/Mo/Si 반사형 다층 박막 미러에 관한 것이다.본 기술은 극자외선 노광공정용 다층 미러에 있어서, 기판 위에 각각 Ru/Mo/Si의 3층 구조로 이루어진 다수층의 다층박막으로 구성되어, 극자외선 영역의 빛에 대해 고반사율을 갖는 것을 특징으로 한다.
기술정보
- 기술분류
- 물리학 > 기타 광학
- 보유기관
- 한양대학교
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2008-01-22
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
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