일반기술
고정밀 정전용량형 습도센서 제조 방법
본 기술은 정전용량형 습도센서 제조방법에 관한 것으로서, 기판을 마련하는 단계와, 기판 상에 하부전극을 증착하는 단계와, 하부전극 중 센싱부에 해당하는 영역에 상에 절연막을 형성하는 단계와, 절연막 상에 폴리머층을 형성하는 단계와, 폴리머층 상에 RF 파워와 DC 파워를 동시에 인가하는 rf & dc 스퍼터링공정을 이용하여 적어도 일부에 다수의 미세 공공이 형성된 상부전극을 증착하는 단계를 포함하는 정전용량형 습도센서 제조방법을 제공한다. 또한, 본 기술은 이와 결합하여 또는 별개로, 하부전극 형성시에 동일한 증착조건에서 상부전극의 단자부를 동시에 형성하고, 상부전극 형성시에, 단자부에 상부전극이 연결되도록 상부전극을 형성함으로써 상부전극의 단자부에 대한 접속불량을 방지할 수 있는 정전용량형 습도센서 제조방법을 제공한다.
기술정보
- 기술분류
- 물리학 > 기타 광학
- 보유기관
- 한양대학교
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2008-01-22
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
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